時間：2020-10-26來源： 北京拓普光研

導(dǎo)語：LAB的納米精度運動控制系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，其主要客戶包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。

　　精密運動控制系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于精密加工、精密測量、科學(xué)研究等領(lǐng)域。比利時LAB公司專注于為高端檢測類用戶、高端加工類用戶、科研類客戶提供整體定制化的運動控制解決方案。

　　?激光加工比利時LAB有專門的的激光切割方案，包含控制、運動系統(tǒng)、以及激光器。其激光切割方案的主要特點包括：

　　1)切割行程長達(dá)2000mm*2000mm，速度2m/秒

　　2)全行程切割精度<2μm

　　3)各種形狀切割包括curved,straight,perpendicular,angledlines,holes,slots,etc

　　4)切割厚度從<50μm到12mm5)自動脫離方案可選

　　6)切割后崩邊chippingsize<5μm

　　7)pulse on demand

　　LAB公司近期推出了5軸聯(lián)動的激光微加工全套解決方案，如下。圖形化的用戶操作界面，省去了繁瑣的軟件二次開發(fā)步驟和成本，確保用戶可以輕松的實現(xiàn)納米級別的激光加工。

　　?半導(dǎo)體檢測

　　LAB的納米精度運動控制系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，其主要客戶包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。下圖提到的氣浮龍門系統(tǒng)為半導(dǎo)體用戶確保核心組件的平面度(Flatness)低于100nm。

　　?科學(xué)研究

　　科研行業(yè)是LAB公司自成立之初就緊密合作的重點行業(yè)，主要客戶包括全球各大主要同步輻射光源以及大學(xué)研究所等。

　　LAB Motion Systems公司2005年成立于比利時著名的大學(xué)城魯汶，是天主教魯汶大學(xué)的分離公司，公司的全稱是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球領(lǐng)先的氣浮運動控制系統(tǒng)提供商，公司為用戶提供基于氣浮軸承技術(shù)的納米精度運動控制系統(tǒng)，包括氣浮旋轉(zhuǎn)平臺和多軸運動控制平臺。其氣浮轉(zhuǎn)臺的端跳和徑跳可以達(dá)到<20nm的精度。

　　北京拓普光研科技發(fā)展有限公司是LAB在中國的代理商，致力于LAB產(chǎn)品在半導(dǎo)體檢測、量子光學(xué)、激光微加工、精密測量、天文、CT等領(lǐng)域的應(yīng)用推廣。